發(fā)布時(shí)間： 2025-11-24 點(diǎn)擊次數(shù)： 263次
螺桿真空泵因其無(wú)油污染、低噪音、高真空度等優(yōu)勢(shì)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)藥凍干及制造領(lǐng)域。然而在長(zhǎng)期運(yùn)行中，若維護(hù)不當(dāng)或工況異常，易出現(xiàn)極限真空不足、電機(jī)過(guò)載、異常振動(dòng)、排氣溫度過(guò)高或泄漏等問(wèn)題。及時(shí)精準(zhǔn)解決
螺桿真空泵故障現(xiàn)象，是保障工藝連續(xù)性的關(guān)鍵。
問(wèn)題一：極限真空度達(dá)不到要求（如＞10Pa）
原因：系統(tǒng)泄漏、進(jìn)氣過(guò)濾器堵塞、轉(zhuǎn)子間隙增大或冷卻不足。
對(duì)策：
用氦質(zhì)譜檢漏儀或皂泡法排查管道、法蘭、密封圈等處泄漏點(diǎn)；
清潔或更換進(jìn)氣口濾芯（建議每2000小時(shí)更換）；
檢查冷卻水流量與溫度（進(jìn)水≤30℃），確保冷卻器無(wú)結(jié)垢；
若運(yùn)行超2萬(wàn)小時(shí)，可能轉(zhuǎn)子磨損，需返廠檢測(cè)間隙。
問(wèn)題二：電機(jī)電流過(guò)高或頻繁跳閘
原因：排氣背壓過(guò)大、轉(zhuǎn)子卡滯、電壓不穩(wěn)或潤(rùn)滑不良（軸承部分）。
對(duì)策：
檢查排氣管是否堵塞，確保背壓＜0.2bar；
手動(dòng)盤(pán)車(chē)確認(rèn)轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無(wú)異物卡入；
測(cè)量三相電壓是否平衡（偏差≤±5%）；
檢查軸承潤(rùn)滑狀態(tài)（部分機(jī)型需定期加注高溫潤(rùn)滑脂）。
問(wèn)題三：運(yùn)行中出現(xiàn)異常振動(dòng)或金屬摩擦聲
原因：地腳松動(dòng)、聯(lián)軸器不對(duì)中、轉(zhuǎn)子碰殼或異物進(jìn)入。
對(duì)策：
緊固地腳螺栓，復(fù)測(cè)水平度；
檢查電機(jī)與泵體聯(lián)軸器對(duì)中精度（徑向偏差≤0.05mm）；
立即停機(jī)，拆檢進(jìn)氣端是否有焊渣、顆粒物進(jìn)入；
若已發(fā)生刮擦，需專(zhuān)業(yè)人員評(píng)估轉(zhuǎn)子損傷程度。
問(wèn)題四：排氣溫度過(guò)高（＞120℃）
原因：冷卻系統(tǒng)失效、環(huán)境溫度高或長(zhǎng)時(shí)間高負(fù)荷運(yùn)行。
對(duì)策：
清洗冷卻器水垢，確保水路暢通；
在高溫車(chē)間加裝通風(fēng)或遮陽(yáng)措施；
避免在極限壓比下長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行，必要時(shí)增加前置粗抽泵。
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