發(fā)布時間: 2025-11-14 點(diǎn)擊次數(shù): 311次
螺桿真空泵憑借無油污染、低振動、高可靠性及免維護(hù)等優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、醫(yī)藥凍干及精細(xì)化工等對潔凈度和真空穩(wěn)定性要求高的領(lǐng)域。然而,若安裝不當(dāng),易引發(fā)振動超標(biāo)、密封泄漏、電機(jī)過載甚至轉(zhuǎn)子卡死等故障??茖W(xué)規(guī)范的安裝
螺桿真空泵,是保障其長期高效運(yùn)行的關(guān)鍵。

一、安裝前準(zhǔn)備
選址合規(guī):安裝區(qū)域應(yīng)通風(fēng)良好、干燥無塵,遠(yuǎn)離腐蝕性氣體、高溫?zé)嵩醇皬?qiáng)電磁干擾;
基礎(chǔ)穩(wěn)固:泵體需安裝在水平、剛性混凝土基座上(不建議直接置于鋼結(jié)構(gòu)平臺),基礎(chǔ)平面度誤差≤2mm/m2;
預(yù)留空間:四周留出≥50cm操作與散熱空間,頂部預(yù)留吊裝或檢修間隙;
核對設(shè)備:檢查泵體、電機(jī)轉(zhuǎn)向標(biāo)識、進(jìn)出口法蘭規(guī)格是否與工藝圖紙一致。
二、機(jī)械安裝關(guān)鍵步驟
吊裝就位:使用專用吊環(huán)(嚴(yán)禁吊掛電機(jī)或管口),緩慢落位至基礎(chǔ)中心;
調(diào)平找正:用高精度水平儀在泵體加工面測量,通過墊鐵調(diào)整,確??v向與橫向水平度≤0.1mm/m;
緊固地腳螺栓:采用對角交叉方式分三次擰緊,防止殼體變形;
管路連接:
進(jìn)氣口加裝過濾器或緩沖罐,防止顆粒物進(jìn)入;
排氣口管道獨(dú)立引出室外,避免背壓過高(通常要求背壓<0.2bar);
所有法蘭連接使用耐溫密封墊(如金屬纏繞墊),禁用石棉材料。
三、電氣與控制系統(tǒng)接線
電源匹配:確認(rèn)電壓、頻率(如380V/50Hz)與電機(jī)銘牌一致,三相相序正確(可通過點(diǎn)動測試轉(zhuǎn)向);
可靠接地:泵體與電機(jī)外殼必須用≥6mm2黃綠雙色線接入廠區(qū)接地網(wǎng)(接地電阻≤4Ω);
控制信號接入:若配PLC啟?;蜻h(yuǎn)程監(jiān)控,按接線圖連接干接點(diǎn)或4-20mA信號線,做好屏蔽防干擾。
四、安裝后檢查與試運(yùn)行
手動盤車2-3圈,確認(rèn)轉(zhuǎn)子無卡滯、異響;
啟動前關(guān)閉進(jìn)氣閥,空載運(yùn)行5分鐘,觀察電流、振動及溫升;
緩慢開啟進(jìn)氣閥,逐步加載至工作壓力,監(jiān)測極限真空度是否達(dá)標(biāo)(如≤5Pa);
記錄運(yùn)行參數(shù),納入設(shè)備檔案。